Funktionsmodell Oberflächenbeschichtungsanlage scia Coat 200

scia Systems entwickelt und fertigt Vakuumprozesssysteme mit Plasma- und Ionenstrahltechnologien für die ultra-präzise Oberflächenbearbeitung. Kunden sind Unternehmen und Forschungseinrichtungen vor allem aus den Bereichen Mikroelektronik, MEMS und Präzisionsoptikfertigung.

Die scia Coat 200 wurde zur homogenen Beschichtung von 200 mm Substraten, wie zum Beispiel Wafern, mittels dualer Ionenstrahl­abscheidung entwickelt. Typische Anwendungen sind Mehrlagen­beschichtungen für magnetische Sen­soren und optische Be­schichtungen. Der fokussierte Strahl einer Ionenstrahl­quelle trifft auf ein Sputter­target. Mit dem davon ab­ge­tra­genen Material wird das Substrat beschichtet. Das Funktionsmodell gibt einen plastischen Einblick in den komplexen Herstellungsprozess.